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簡要描述：國產(chǎn)手動臺階儀 JS10B，穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量，采用金剛石探針，無畸變的觀察樣品區(qū)，實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域，突破三個(gè)核心技術(shù)，國內(nèi)研發(fā)生產(chǎn)，便于售后服務(wù)?！局С侄ㄖ婆_階儀】
產(chǎn)品型號： 廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-09-23訪 問 量：445詳細(xì)介紹
產(chǎn)品描述
國產(chǎn)手動臺階儀JS10B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS10B提供一個(gè)彩色攝像頭對樣品和針尖同時(shí)成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域。
手動臺階儀 JS10B關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)
裝載晶圓尺寸：150mm\200mm\300mm
臺階高度重復(fù)性 ：≤0.5nm(1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次)
臺階測量高度：≤80um
樣品平臺行程：可實(shí)現(xiàn)水平(X/Y)，旋轉(zhuǎn)(RZ)電動控制
單次掃描距離：≤55mm
探針壓力：0.5~50mg
探針直徑：≥2um 探針1個(gè)，≤1um 探針1個(gè)
• JS10B技術(shù)參數(shù)
• 配套軟件介紹
• 應(yīng)用案例
測金屬片
測電極
測光刻膠
測膜厚
測標(biāo)樣
測標(biāo)樣
產(chǎn)品咨詢
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